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石墨制品是以等静压石墨为原材料,通过车床、铣床对原材料按技术图纸进行机械加工,制成石墨热场。石墨制品是单晶炉热场的重要组成部分,在单晶硅生产中发挥着重要作用。
石墨特点 | 使用方法 | 储存条件 |
耐高温性能好,导电性能强,结构设计合理,不易变形。 | 在单晶炉或多晶硅铸锭炉中,利用热场对硅料进行加热 和保温,使硅料熔化,然后控制温度使单晶或多晶定向 生长,从而形成单晶硅棒或多晶硅锭。 | 常温保存,需干燥,无油污,外观尺寸符合图纸要求。 |
导流筒 | 加热器 | 保温桶 |
电极互套 | 石墨舟 | 埚杆 |