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单晶炉是软轴提拉型晶体生长设备，在低于常压的惰性气体环境中，以石墨电阻加热器加热，将填充在石英坩埚内的多晶硅材料熔化，用直拉法生长无位错的高质量单晶设备。单晶炉具有以下几个特点：高温控制精度：单晶炉配备了先进的温度控制系统，能够准确地控制炉
